奧林巴斯FPD顯微鏡系統(tǒng)支持檢測尺寸達300毫米的晶圓、平板顯示器、印刷電路板以及其他樣品的質(zhì)量。這些符合人體工學(xué)設(shè)計的人性化系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計，可在各種應(yīng)用中實現(xiàn)觀察條件。

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M行可靠的缺陷檢測。全新照明技術(shù)以及圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結(jié)果提供更多選擇。

全面可定制

MX63系列設(shè)計用于讓用戶能夠選擇各種光學(xué)器件滿足其特定的檢測和應(yīng)用需求。該系統(tǒng)可使用所有觀察方法。

用戶還可從一系列的圖像分析軟件包中進行選擇，以滿足其特定的圖像采集和分析需求。

兩個系統(tǒng)兼容多種樣品規(guī)格

MX63系統(tǒng)能夠檢測尺寸達200毫米的晶圓，而MX63L至大可檢測300毫米的晶圓，兩款具有相同的較小占用空間。MX63系列的模塊化設(shè)計可輕松地根據(jù)您的特定需求定制顯微鏡。

奧林巴斯FPD顯微鏡技術(shù)參數(shù)